Stephan Bigl
(Ehemalig)
Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten
- 2017
- Veröffentlicht
Substrate-influenced thermo-mechanical fatigue of copper metallizations: Limits of Stoney's equation
Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 9 Nov. 2017, in: Materials. 10, 11, 1287.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Film thickness dependent microstructural changes of thick copper metallizations upon thermal fatigue
Bigl, S., Trost, C. O. W., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 14 Juni 2017, in: Journal of materials research (JMR). 32, 11, S. 2022-2034 13 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating
Wurster, S., Bigl, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 5 Jan. 2017, in: Microelectronic engineering. 167, S. 110-118 9 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Thermo-mechanical behaviour of thick copper metallizations for power electronics
Bigl, S., 2017Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
- 2016
- Veröffentlicht
Correlative microstructure and topography informed nanoindentation of copper films
Bigl, S., Schöberl, T., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 25 Dez. 2016, in: Surface & coatings technology. 308, S. 404-413 10 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Advanced characterisation of thermo-mechanical fatigue mechanisms of different copper film systems for wafer metallizations
Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 1 Aug. 2016, in: Thin solid films. 612, S. 153-164 12 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Low cycle fatigue of Cu thin films: Novel approaches for thermomechanical testing & microstructural analysis
Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 22 März 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung
- Veröffentlicht
Advanced Characterization of thermo-mechanical fatigue mechanisms for semiconductor metallizations
Bigl, S., Wurster, S., Schöberl, T., Cordill, M. & Kiener, D., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Microstructural and mechanical investigations of thermo-mechanically loaded Cu films using a thermal laser cycling device
Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. J. & Kiener, D., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
- Veröffentlicht
Structural changes in amorphous SiO2 films revealed by in-situ stress measurements up to 1000C
Bigl, S. & Cordill, M., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
