Film thickness dependent microstructural changes of thick copper metallizations upon thermal fatigue
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- Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
Details
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 2022-2034 |
Seitenumfang | 13 |
Fachzeitschrift | Journal of materials research (JMR) |
Jahrgang | 32 |
Ausgabenummer | 11 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 14 Juni 2017 |