Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating
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- Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 110-118 |
| Seitenumfang | 9 |
| Fachzeitschrift | Microelectronic engineering |
| Jahrgang | 167 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 5 Jan. 2017 |
