Substrate-influenced thermo-mechanical fatigue of copper metallizations: Limits of Stoney's equation
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- Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 1287 |
| Fachzeitschrift | Materials |
| Jahrgang | 10 |
| Ausgabenummer | 11 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 9 Nov. 2017 |
