Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Institute of Energy and Nuclear Research (IPEN-CNEN/SP)
- Department of Metallurgical and Materials Engineering
- Oak Ridge National Laboratory
- Universidade do Estado de Santa Catarina
Details
| Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
|---|---|
| Fachzeitschrift | SN applied sciences |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - Mai 2020 |
