SN applied sciences
Fachzeitschrift: Zeitschrift
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Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten
- 2020
- Veröffentlicht
Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
da Silva, F. C., Tunes, M., Edmondson, P. D., Lima, N. B., Sagás, J. C., Fontana, L. C. & Schön, C. G., Mai 2020, in: SN applied sciences .Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)