Water-Developable Poly(2-Oxazoline)-Based Negative Photoresists

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • V. Schenk
  • L. Ellmaier
  • E. Rossegger
  • G. Weidinger
  • F. Wiesbrock

Details

Titel in ÜbersetzungWater-Developable Poly(2-Oxazoline)-Based Negative Photoresists
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)396-400
FachzeitschriftMacromolecular rapid communications
Jahrgang5
StatusVeröffentlicht - 2012