Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology), ‎0963-0252

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0963-0252
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Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten

  1. 2020
  2. Veröffentlicht

    Erosion and cathodic arc plasma of Nb–Al cathodes: composite versus intermetallic

    Zöhrer, S., Golizadeh Najafabadi, M., Koutná, N., Holec, D., Anders, A. & Franz, R., 2020, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). 2020, S. 1-14

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. 2018
  4. Veröffentlicht

    Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum

    Zöhrer, S., Anders, A. & Franz, R., 2018, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). S. 1-17

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  5. 2016
  6. Veröffentlicht

    Influence of ionisation zone motion in high power impulse magnetron sputtering on angular ion flux and NbOx film growth

    Franz, R., Clavero, C., Anders, A. & Kolbeck, J., 2016, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). 25, S. 1-11 11 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. 2014
  8. Veröffentlicht

    Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons

    Panjan, M., Franz, R. & Anders, A., 2014, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). 23, S. 0250071-02500712

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  9. Veröffentlicht

    Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target

    Franz, R., Clavero, C., Bolat, R., Mendelsberg, R. & Anders, A., 2014, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). 23, S. 0350011-03500111

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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