The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime: target erosion and film properties
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Plansee SE
- Department of Mechanical Engineering, Ort Braude College
- Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1-14 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 2020 |
| Ausgabenummer | 381 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2019 |
