Structure, stress, and mechanical properties of Mo-Al-N thin films deposited by dc reactive magnetron cosputtering: Role of point defects
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
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Externe Organisationseinheiten
- Universite Paris 13-Sorbonne
- CNRS-Université de Poitiers-ENSMA
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1-14 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 2020 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2020 |
