Self-structuring in Zr1−xAlxN films as a function of composition and growth temperature

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Naureen Ghafoor
  • I. Petrov
  • G. Greczynski
  • J. Palisaitis
  • P.O.Å. Persson
  • Lars Hultman
  • J. Birch

Organisationseinheiten

Externe Organisationseinheiten

  • Thin Film Physics Division, Chemistry an Biology, Linköping University

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1-17
FachzeitschriftScientific reports (London : Nature Publishing Group)
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018