Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets
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Externe Organisationseinheiten
- Johannes Kepler Universität Linz
- Plansee SE
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 80-85 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 332 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2017 |
