Microstructural Effects on the Interfacial Adhesion of Nanometer-Thick Cu Films on Glass Substrates: Implications for Microelectronic Devices

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Externe Organisationseinheiten

  • Österreichische Akademie der Wissenschaften
  • Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)61-70
Seitenumfang10
FachzeitschriftACS Applied Nano Materials
Jahrgang4
Ausgabenummer1
DOIs
StatusVeröffentlicht - 22 Jan. 2021