Microstructural Effects on the Interfacial Adhesion of Nanometer-Thick Cu Films on Glass Substrates: Implications for Microelectronic Devices
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Autoren
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Externe Organisationseinheiten
- Österreichische Akademie der Wissenschaften
- Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie
Details
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 61-70 |
Seitenumfang | 10 |
Fachzeitschrift | ACS Applied Nano Materials |
Jahrgang | 4 |
Ausgabenummer | 1 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 22 Jan. 2021 |