Microstructural effects on the interfacial adhesion of nanometer- thick Cu films on glass substrates: Implications for microelectronic devices

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

Externe Organisationseinheiten

  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
  • Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)61-70
FachzeitschriftACS Applied Nano Materials
Jahrgang2021
Ausgabenummer4
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2021