Investigation of high cyclic fatigue behaviour of thin copper films using MEMS structure

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Externe Organisationseinheiten

  • Infineon Technologies AG Austria
  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
  • Technische Universität Wien

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer105179
FachzeitschriftInternational Journal of Fatigue
Jahrgang128
DOIs
StatusVeröffentlicht - 1 Nov. 2019