Interface and stability analysis of Tantalum- and Titanium nitride thin films onto Lithiumniobate

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)254-260
FachzeitschriftApplied surface science
Jahrgang425
StatusVeröffentlicht - Dez. 2017