Influence of substrate stiffness and of PVD parameters on the microstructure and tension fracture characteristics of TiN thin films

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	658-663
Seitenumfang	6
Fachzeitschrift	Procedia structural integrity / ESIS
Jahrgang	13
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.prostr.2018.12.109
Status	Veröffentlicht - 2018