Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	021504-1 - 021504-8
Seitenumfang	8
Fachzeitschrift	Journal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang	35
Ausgabenummer	2
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.4973214
Status	Veröffentlicht - 2017