High resolution residual stress gradient characterization in W/TiN-stack on Si(100): Correlating in-plane stress and grain size distributions in W sublayer
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
- Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
- Austria-Mikro-Syst.-Intl. GmbH
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 72-78 |
| Seitenumfang | 7 |
| Fachzeitschrift | Materials and Design |
| Jahrgang | 132 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 15 Okt. 2017 |
