Evolution of the microstructure of sputter deposited TaAlON thin films with increasing oxygen partial pressure

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Autoren

Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH, Graz
Institute of Ion Beam Physics and Materials Research, Helmholtz Zentrum Dresden -Rossendorf

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1-7
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	2021
Ausgabenummer	418
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127237
Status	Veröffentlicht - 2021