Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 041517 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 34 |
| Ausgabenummer | 4 |
| Status | Veröffentlicht - 1 Juli 2016 |
