Cu diffusion in single-crystal and polycrystalline TiN barrier layers: A high-resolution experimental study supported by first-principles calculations
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
- Technische Universität Graz
- Lawrence Berkeley National Laboratory
- Linköping University
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 085307-1 - 085307-11 |
| Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
| Jahrgang | 118 |
| Status | Veröffentlicht - 2015 |
