Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 041504-1 - 041504-6 |
Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2017 |