Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)041504-1 - 041504-6
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2017