Cantilever bending based on humidity-actuated mesoporous silica/silicon bilayers

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)637
Seitenumfang644
FachzeitschriftBeilstein journal of nanotechnology
Jahrgang7
StatusVeröffentlicht - 28 Apr. 2016