Robert Franz
(Ehemalig)
Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten
- 2018
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Linking erosion and sputter performance of a rotatable Mo target to microstructure and properties of the deposited thin films
Hofer-Roblyek, A. M., Pichler, K-H., Linke, C., Franz, R., Winkler, J. & Mitterer, C., 2018, in: Surface & coatings technology. S. 354-359Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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The electro-mechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates
Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
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Time and energy-resolved average ion charge states in pulsed cathodic vacuum arc plasmas of Nb-Al cathodes as a function of Ar pressure
Zöhrer, S., Anders, A. & Franz, R., 2018, 28th International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (ISDEIV). S. 357-359Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband
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Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum
Zöhrer, S., Anders, A. & Franz, R., 2018, in: Plasma sources science & technology (Plasma Sources Science and technology). S. 1-17Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2017
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Electro-mechanical behavior of sputter-deposited molybdenum-aluminum multilayers
Kreiml, P., Rausch, M., Franz, R., Winkler, J., Mitterer, C. & Cordill, M. J., 11 Sept. 2017.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
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A correlative experimental and ab initio approach to improve the fracture behavior of Mo thin films by alloying with Cu
Jörg, T., Music, D., Cordill, M. J., Franz, R., Köstenbauer, H., Linke, C., Winkler, J., Schneider, J. M. & Mitterer, C., 2017, in: Applied physics letters. 111, S. 134101-1-134101-4Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Deformation behavior of Re alloyed Mo thin films on flexible substrates: In situ fragmentation analysis supported by first-principles calculations
Jörg, T., Music, D., Hauser, F., Cordill, M., Franz, R., Köstenbauer, H., Winkler, J., Schneider, J. & Mitterer, C., 2017, in: Scientific reports (London : Nature Publishing Group). 7, S. 1-10Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 2, S. 021504-1 - 021504-8 8 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A., Mitterer, S. & Mitterer, C., 2017, in: Surface & coatings technology. 332, S. 80-85Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power
Saringer, C., Pajdarova, A. D., Baroch, P., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2017.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)