Julia Pachlhofer

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Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten

  1. 2017
  2. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 2, S. 021504-1 - 021504-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A., Mitterer, S. & Mitterer, C., 2017, in: Surface & coatings technology. 332, S. 80-85

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  4. 2016
  5. Veröffentlicht

    DC Magnetron Sputter Deposition of Molybdenum Oxide Thin Films from Metallic Mo and Ceramic MoOx Targets: Synthesis, Structure and Property Relations

    Pachlhofer, J., 2016

    Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation

  6. Veröffentlicht

    Structure evolution in reactively sputtered molybdenum oxide thin films

    Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016, in: Vacuum. 131, S. 246-251 6 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. 2015
  8. Veröffentlicht

    Structure-property relations in reactively sputtered molybdenum oxide thin films

    Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Winkler, J. & Mitterer, C., 2015.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)

  9. 2014
  10. Veröffentlicht

    Funktionale Schichten in der µ-Elektronik

    Mitterer, C., Franz, R., Jachs, C., Hofer, A. M., Jörg, T., Pachlhofer, J. & Mühlbacher, M., 2014.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

  11. 2013
  12. Veröffentlicht

    Sputtered polymeric hydrogenated amorphous carbon thin films for temporary medical implants

    Pachlhofer, J., 2013, 52 S.

    Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Diplomarbeit › (peer-reviewed)

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