Journal of vacuum science & technology / A (JVST), 0734-2101
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0734-2101 |
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Veröffentlichungen / Abschlussarbeiten
- 2020
- Veröffentlicht
Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target
Rausch, M., Mraz, S., Kreiml, P., Cordill, M. J., Schneider, J. M., Winkler, J. & Mitterer, C., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 2, S. 1-10 023401.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Structure, stress, and mechanical properties of Mo-Al-N thin films deposited by dc reactive magnetron cosputtering: Role of point defects
Angay, F., Löfler, L., Tetard, F., Eyidi, D., Djemia, P., Holec, D. & Abadias, G., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 2020, S. 1-14Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2018
- Veröffentlicht
Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature
Pilz, J., Perrotta, A., Christian, P., Tazreiter, M., Resel, R., Leising, G., Griesser, T. & Coclite, A. M., 1 Jan. 2018, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 1, 01A109.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Electromechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates
Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 010601-1-010601-4Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings
Saringer, C., Oberroither, C., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, 2Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films
Jörg, T., Hofer-Roblyek, A. M., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, S. 021513-1-021513-5Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2017
- Veröffentlicht
Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets
Lorenz, R., O 'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C., 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 041504-1 - 041504-6Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 2, S. 021504-1 - 021504-8 8 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Tailoring age hardening of Ti1-xAlxN by Ta alloying
Großmann, B., Jamnig, A., Schalk, N., Czettl, C., Pohler, M. & Mitterer, C., 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 6, S. 060604-1-060604-6Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2016
- Veröffentlicht
Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN
Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34, 4, 8 S., 041517.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
